多晶硅项目生产过程中产生的含氯有机废液，废液经废液喷枪送至焚烧炉充分燃烧，焚烧产生的烟气经余热锅炉回收热能并经过除尘脱酸处理后排放到大气，同时还可以回收高浓度的氯化氢溶液；含氟项目生产过程中产生的含氟有机废液，废液经焚烧炉充分燃烧，焚烧产生的烟气经余热锅炉回收热能并经过除尘脱酸处理后排放到大气，同时还可以回收高浓度的氟化氢溶液。

多晶硅含氯（氟）废液焚烧特点：

         1、焚烧炉本体采用立式炉结构，可以减少炉本体的占地面积，同卧式炉 相比，立式炉结构改变了耐火材料的受力状况，完全避免了耐火材料在高温情 况下可能出现的爆裂和坍塌现象。

         2、焚烧炉本体采用立式炉结构，底部设有沉降室，使得焚烧过程中产生 的部分Si02等粉尘能够在炉本体内收集，减少烟气带出的粉尘置，减少后续设 备的压力。

         3、炉体燃烧根据3TIE（温度、时间、涡流、过剩系数）原则设计，确保 废液在炉本体燃烧室内充分氧化、热解、燃烧，使有机物破坏去除率达到九成以上。

         4、废液和助燃空气在焚烧炉内切向混合，其混合程度好、湍流度高、燃 烧速度及效率高，过剩空气系数低，可节约燃料。

         5、炉体整体温度分布为低一高一低，顶部燃烧陶瓷部处于相对低温部 800℃左右可较好地保护各个烧嘴。延长烧嘴使用寿命。

         6、稳定性高一设有启动前不排除易爆气体就不能点火的功能，以防气爆， 炉内设有火焰检知器，一旦炉内发生熄火或点火失败，立即自动切断废液供 给，报警系统完善，使用可靠

         7、为确保系统安全．在炉体内设有度明灯性质的小型燃烧器，避免废液 进料时因可能出现的不稳定，而产生突然熄火，后又起火的现象，较大限度杜 绝气爆现象发生。

         8、所有进料管路设有氮气吹扫系统确保整个系统不残留可燃气体，确保 系统正常。

         9、采用多项技术，使设备简化，易于维修，并降低了运行成本。

        10、充分考虑废液焚烧后的废热利用，可产生蒸汽供生产使用。

        11、充分考虑废液焚烧后回收高浓度的酸溶液（浓度可达20%-25%）同时可以处理含氯（氟）废气。